- 晨立卧式6寸两管扩散炉 退火炉 电子 合金氧化扩散cl
详细信息
品牌：晨立 型号：cl 加工定制：是 用途：对所加工硅片进行扩散、氧化、退 一、设备结构:
1、操作方式:左(右)手操作方式
2、硅片尺寸:圆形6寸片
3、工艺布局:满足客户工艺要求4、外形:主机1台，主机架为卧式两管。
5、自动化程度:工控机控制系统自动控制工艺流程
6、送取片方式:手动进出舟。二、主要技术参数:
1、加热炉管有效口径:满足6英寸硅片。可向下兼容5寸和4寸硅片。
2、工作温度范围:上管:600~1400℃
下管:200~500℃
3、恒温区长度及精度:600mm，
上管:800-1400℃.±0.2℃/24h
下管:200-500℃.±0.2℃/24h
4、控制方式:由工控机统一管理工艺
5、气路设置:每管两路气体:氮气100L/min.氩气100L/min。均采用MFC自动控制流量大小。青岛晨立电子有限公司主要产品：高低温扩散炉、实验炉、共晶炉、烧结炉、加磁炉、高 精 度智能温度控制系统和替代进口的扩散炉炉体等，同时承接各种微电子生产线，进口半导体专 用设备的翻新升级改造及各大专院校科研院所的非标研发定制工作。
-
供应商的其他相关信息
查看更多
-
晨立卧式6寸两管扩散炉 退火炉 电子 合金氧化扩散cl
页面价格仅供参考，具体请联系报价起批量 价格 - ≧1 台
￥250000.00
- 产品型号：cl
- 品 牌：晨立
- 所 在 地：山东青岛
- 更新日期：2024-11-20
选择 1台起售 ￥250000.00 库存充足 -+合计：1台总价：250000.00元店内推荐产品
￥220000.00
￥180000.00
￥250000.00
￥200000.00- ￥200000.00
- ￥200000.00
青岛晨立电子有限公司 地址： 山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼内容声明：谷瀑为第三方平台及互联网信息服务提供者，谷瀑（含网站、客户端等）所展示的商品/服务的标题、价格、详情等信息内容系由店铺经营者发布，其真实性、准确性和合法性均由店铺经营者负责。谷瀑提醒您购买商品/服务前注意谨慎核实，如您对商品/服务的标题、价格、详情等任何信息有任何疑问的，请在购买前通过谷瀑与店铺经营者沟通确认；谷瀑上存在海量店铺，如您发现店铺内有任何违法/侵权信息，请在谷瀑首页底栏投诉通道进行投诉。
