• 磁力真空退火炉 磁场真空炉 晨立电子

    详细信息

     品牌：晨立  型号：cl  加工定制：是  
     用途：用于磁性材料（钐钴、钕铁硼等）及粉末冶金材料的烧结及退火等    

    用途：

    该设备用于半导体芯片生产工艺过程中，在可控磁场中实现真空退火、真空合金、真空晶化等工艺。该系统具有精确的磁场强度和温度控制系统和高真空系统。

    主要技术参数：

    ◆结构型式：卧式热壁型

    ◆工作温度范围：500度，700度，1100度。

    ◆恒温区长度及精度：±0.5℃/800mm

    ◆气体流量设定精度:±1％F.S

    ◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s

    ◆工艺均匀性:≤±5％

    ◆控制方式： 工业微机控制

    ◆真空度： 5*10-4 Pa

    ◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制

     


     

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