• 晶圆高真空退火炉 低温退火设备 晨立电子定制

    详细信息

     品牌:晨立  加工定制:是  型号:cl  
     形式:电动  电源电压:380 V 送料形式:1  
     脚长:1 mm 加工量:1  外形尺寸:1 mm 
     重量:1 kg 尺寸:4-8英寸晶圆  控温精度:±3℃  

    晶圆真空退火炉主要用于半导体晶圆在高真空环境下的低温退火。

    尺寸:4-8英寸晶圆

    晶圆舟:标准25片

    控温精度:±3℃

    升温速率:10℃/min

    洁净等级:百级洁净

    真空度:5*10-4 Pa

    使用温度:200-550度

     

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