- 晨立高校、硅材料实验室、微电子高温氧化炉
详细信息
品牌：晨立 加工定制：是 型号：cl 形式：电动 电源电压：380 V 送料形式：1 脚长：1 mm 加工量：1 外形尺寸：1 mm 重量：1 kg 温度范围：上管:600~1400℃ 硅片尺寸：圆形6寸片 用途：
主要用于各大高校、硅材料实验室、及微电子专科对半导体6寸及以下硅片的高温扩散、氧化（湿氧）、退火、烧结合金工艺的教学和实验工作。
1.1、工作温度：400-1300℃
1.2、恒温区长度及精度： 300mm /±0.5℃（可选）
1.3、炉管数：一、二、三、四管（可选）
1.4、适应硅片尺寸： 6寸及向下兼容
1.5、送取片方式：自动或手动（可选）
青岛晨立电子有限公司主要产品：高低温扩散炉、实验炉、共晶炉、烧结炉、加磁炉、高 精 度智能温度控制系统和替代进口的扩散炉炉体等，同时承接各种微电子生产线，进口半导体专 用设备的翻新升级改造及各大专院校科研院所的非标研发定制工作。
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晨立高校、硅材料实验室、微电子高温氧化炉
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- 产品型号：cl
- 品 牌：晨立
- 所 在 地：山东青岛
- 更新日期：2025-04-02
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