- 晨立科研设备 科研仪器设备 科研专用加热设备 设计定制cl
详细信息
品牌：晨立 型号：cl 加工定制：是 用途：对所加工硅片进行扩散、氧化、退
科研炉是半导体加工中的典型热处理设备，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
主要技术参数：
◆工艺管数量：1-4管
◆工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸）
◆工作温度范围：400～1280℃
◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm
◆工艺均匀性:≤±5％（30~60欧姆）◆结构型式：卧式热壁型
◆气体流量设定精度:±1％F.S
◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s
◆超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）噪音：≤62dB（A）震动：≤3μm
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
◆控制方式： 工业微机控制 -
供应商的其他相关信息
查看更多
-
晨立科研设备 科研仪器设备 科研专用加热设备 设计定制cl
页面价格仅供参考，具体请联系报价起批量 价格 - ≧1 台
￥60000.00
- 产品型号：cl
- 品 牌：晨立
- 所 在 地：山东青岛
- 更新日期：2024-04-26
选择 1台起售 ￥60000.00 库存充足 -+合计：1台总价：60000.00元店内推荐产品
￥120000.00
￥120000.00- ￥160000.00
￥120000.00
￥80000.00
￥120000.00
青岛晨立电子有限公司 地址： 即墨区马山东路陈家河工业园内容声明：谷瀑为第三方平台及互联网信息服务提供者，谷瀑（含网站、客户端等）所展示的商品/服务的标题、价格、详情等信息内容系由店铺经营者发布，其真实性、准确性和合法性均由店铺经营者负责。谷瀑提醒您购买商品/服务前注意谨慎核实，如您对商品/服务的标题、价格、详情等任何信息有任何疑问的，请在购买前通过谷瀑与店铺经营者沟通确认；谷瀑上存在海量店铺，如您发现店铺内有任何违法/侵权信息，请在谷瀑首页底栏投诉通道进行投诉。
