- 晨立真空退火炉 管式真空炉cl
详细信息
品牌:晨立 型号:cl 加工定制:是 用途:真空烧结、封装、焊接、合金、退
设备分类:从结构上分为卧式、立式、箱式,以真空度上分为低真空、高真空,从使用温度上分为低温、高温,从真空室材料上分为石英管、耐热不锈钢管,从真空获得上分机械泵、机械泵+扩散泵、机械泵+分子泵。
主要技术参数
◆工艺管数量:可根据客户需求制作为1-4管
◆工艺管口径:Φ90-360mm(3~12英寸)
◆结构型式:卧式热壁型或立式
◆工作温度范围:400~1280℃
◆气体流量设定精度:±1%F.S
◆气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s
◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm
◆工艺均匀性:≤±5%(30~60欧姆)
◆超净工作台:净化等级:100级(万级厂房)
噪音:≤62dB(A)
震动:≤3μm
◆控制方式: 工业微机控制
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
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